水性霧是由于潮濕空氣在溫度變化下而形成，主要分布在零件的全面積上，產生原因主要是潮濕氣體所致，但與儀器密封性能、光學玻璃的化學穩定性，以及玻璃表面的清潔程度有關，在較高的相對濕度下，霉菌易生長，有些霉菌生長狀大后，便在菌絲體周圍產生分泌物，這些分泌物有的是液狀的，在液狀分泌物外圍便形成水性霧。

不管何種原因形成的霧，由于霧滴以曲率半徑極小的球形分布于光學零件表面上、使入射光線產生散射現象，除了降低儀器的有效透光率外，并使成象質量差影響觀測。有的光學零件因長期起霧，被腐蝕的玻璃表面形成很多微孔，嚴重的會使玻璃零件報廢。

光學儀器起霧不僅在我國東南地區嚴重存在，就是較干燥的地區，由于溫差變化，也會起霧，它比光學儀器生霉的影響范圍更大，而且更難防止。